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KLA四探針電阻率測量儀是KLA的電阻率測量產(chǎn)品。從半導(dǎo)體制造到實現(xiàn)可穿戴技術(shù)所需的柔性電子產(chǎn)品，薄膜電阻監(jiān)控對于任何使用導(dǎo)電薄膜的行業(yè)都相當(dāng)重要。KLA R54 四探針電阻率測量儀在功能上針對金屬薄膜均勻性測繪、離子注入表征和退火特性、薄膜厚度和電阻率測量以及非接觸式薄膜厚度測量進(jìn)行了優(yōu)化。

型號：R54

更新日期：2025-09-12

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KLA R50 四探針電阻率測繪系統(tǒng)是KLA電阻測試系列的產(chǎn)品。電阻測量和監(jiān)控對于任何使用導(dǎo)電薄膜的行業(yè)都相當(dāng)重要，從半導(dǎo)體制造到可穿戴技術(shù)所需的柔性電子產(chǎn)品。KLA R50 四探針電阻率測量儀在金屬膜均勻性分布、離子摻雜和注入表征、薄膜厚度和電阻率分布、以及非接觸膜厚等量測領(lǐng)域均可涉及。

型號：R50

更新日期：2025-06-24

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