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KLA光學輪廓儀KLA Profilm3D 是一款3D白光干涉輪廓儀。KLA Profilm3D 光學輪廓儀使用垂直干涉掃描(WLI)技術(shù)與相位干涉(PSI)技術(shù)。以較低的價格實現(xiàn)次納米級的表面形貌研究。采用白光干涉原理，不損傷樣品。

型號：Profilm3D

更新日期：2025-09-12

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3D白光干涉輪廓儀，KLA Profilm3D 光學輪廓儀使用垂直干涉掃描(WLI)技術(shù)與相位干涉(PSI)技術(shù)。以較低的價格實現(xiàn)次納米級的表面形貌研究。采用白光干涉原理，不損傷樣品。

型號：

更新日期：2025-09-23

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KLA 表面光學輪廓儀，KLA Zeta-388光學輪廓儀是非接觸式三維表面形貌測量系統(tǒng)。該系統(tǒng)在Zeta-300光學輪廓儀的基礎(chǔ)上，增加了用于全自動測量的機械手臂操作系統(tǒng)。Zeta-388光學輪廓儀采用ZDot技術(shù)和多模組光學系統(tǒng)，可測量各種不同的樣品：包括透明與不透明、低至高反射率、光滑到粗糙的表面，以及亞納米級到毫米級的臺階高度。

型號：Zeta-388

更新日期：2025-09-12

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