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薄膜厚度測量儀測量方法和準備工作

2020-01-13 [1197]
   薄膜厚度測量儀又名膜厚測試儀,分為手持式和臺式二種,手持式又有磁感應鍍層測厚儀,電渦流鍍層測厚儀,熒光X射線儀鍍層測厚儀。手持式的磁感應原理是,利用從測頭經(jīng)過非鐵磁覆層而流入鐵磁基體的磁通的大小,來測定覆層厚度。也可以測定與之對應的磁阻的大小,來表示其覆層厚度。那么,如何正確操作使用膜厚儀?珠海天創(chuàng)儀器公司為大家詳細介紹:
  薄膜厚度測量儀測定準備
  (1)確保電池正負極方向正確無誤后設定。
  (2)探頭的選擇和設定:在探頭上有電磁式和渦電流式2種類型。對準測定對象,在本體上進行設定。
  測定方法
  (1)探頭的選擇和安裝方法:確認電源處于OFF狀態(tài),與測定對象的質(zhì)地材質(zhì)接觸,安裝LEP-J或LHP-J。
 ?。?)調(diào)整:確認測定對象已經(jīng)被調(diào)整。未調(diào)整時要進行調(diào)整。
 ?。?)測定:在探頭的末端加一定的負荷,即使用[一點接觸定壓式]。抓住與
  測定部接近的部分,迅速在與測定面成垂直的角度按下。下述的測定,每次都
  要從探頭的前端測定面開始離開10mm以上。使用管狀的東西連續(xù)測定平面時,如果采用探頭適配器,可以更加穩(wěn)定地進行測定。
  薄膜厚度測量儀的常見故障及處理方法:
  一、薄膜厚度測量儀不開機:
  ①請檢查確認電池是否有電,或更換新的電池。
 ?、谡垯z查電池是否接觸良好,且電極片沒有氧化或生銹等-(如生銹—可用工具刮掉氧化層)
  ③請檢查按鍵是否按壓到位,且按鍵正常有彈性。
 ?、芷渌鳈C線路故障咨詢公司售后服務或返廠檢修
  二、薄膜厚度測量儀測量不準:
 ?、僬埾刃邢到y(tǒng)校準儀器,標定,使之符合誤差范圍誤差遵循≦3%(厚度值)±1um如需測試更加請在被測工件的光滑裸基(而不是隨機帶的的鐵塊)進行系統(tǒng)校準。
 ?、谡垯z查探頭前端是否磨損,是否變形,有附著物質(zhì)等探頭外護套是否不在水平等,變形可適當用砂紙打磨修正,處理干凈.
 ?、郾粶y件基材表面粗糙度影響,引起系統(tǒng)誤差和偶然誤差測量時在不同位置增加測量次數(shù),克服偶然誤差?;蛴蒙凹埓蚰セ闹匦滦x器零點。
  ④測量手法以及探頭的放置需保持探頭與試樣垂直
 ?、荼粶y件曲度在該探頭所適應的曲率半徑下,重新校準。尤其管道凸面,注意探頭V型卡槽穩(wěn)定放置。
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